MPCVD設(shè)備能沉積高純度的金剛石膜,其沉積速率也可以通過加大微波功率來提高互動式宣講。裝置設(shè)計(jì)人員將微波頻率從2.45GHz降低到915MHz效高性。如果使用915MHz頻率的微波MPCVD設(shè)備裝置,就可以使微波功率提高很多自動化,而微波功率的加大則能大幅度地提高金剛石膜的沉積速率提升,從而降低生產(chǎn)成本,提高生產(chǎn)效率意向。一般2.45GHz頻率的MPCVD設(shè)備意料之外,它的微波功率一般不超過8KW,微波頻率的降低就可以使駐波腔截面積加大形式,使得金剛石膜的沉積面積加大置之不顧,而沉積金剛石膜的直徑也從1.5KW微波功率的50mm金剛石膜上升到75KW微波功率的250mm金剛石膜。