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產(chǎn)品資料
Auto500
簡介：

Auto500是一套多功能的真空鍍膜系統(tǒng)平臺結構，主要用于科學(xué)研究、技術(shù)開發(fā)或試生產(chǎn)重要作用。其真空腔室采用了前開門的箱式設(shè)計等地，可以容納大尺寸樣品。通過可選擇的設(shè)備配置能分別實現(xiàn)熱阻蒸發(fā)尤為突出、電子束蒸發(fā)及磁控濺射等各種物理氣相沉積工藝規定，甚至也可以將前面三種鍍膜工藝同時組合在一臺設(shè)備里。
產(chǎn)品詳情
真空腔室安放在內(nèi)部裝載有真空泵系統(tǒng)的基座上進行部署。系統(tǒng)的真空系統(tǒng)由觸摸屏操作顯示的PLC自動控制責任。PLC顯示操作面板以及其他工藝附件的控制面板都集中安裝在真空腔室旁邊的19”標(biāo)準(zhǔn)控制機柜上，操作十分方便保護好。
 
Auto500既可以只配置單個鍍膜源組建，也可以配置成多個不同的鍍膜源，其工藝配置靈活性非常高特點，并且也很容易進行現(xiàn)場升級深刻變革。
 
Auto500還可以配置一系列樣品承載臺，可實現(xiàn)樣品旋轉(zhuǎn)和諧共生、傾斜質生產力、加熱、冷卻技術交流、偏壓等先進的解決方案。
 

真空系統(tǒng)可選無油干泵、分子泵及低溫冷凝泵等創造更多。




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