Orion III等離子增強(qiáng)型化學(xué)汽相沉積(PECVD) Orion III等離子增強(qiáng)型化學(xué)汽相沉積(PECVD)系統(tǒng)可適用于單個(gè)基片效果較好、碎片或帶承片盤(pán)的基片(2”- 300mm尺寸)，為實(shí)驗(yàn)室和試制線生產(chǎn)提供先進(jìn)的沉積能力持續。 Orion III系統(tǒng)用于非發(fā)火PECVD工藝等多個領域。沉積薄膜：氧化物、氮氧化物初步建立、氮化物和無(wú)定形硅綜合運用。工藝氣體：<20%硅烷供給、氨的方法、TEOS、二乙基硅烷進行探討、氧化亞氮落到實處、氧和氮。 該設(shè)備可選配一個(gè)ICP或三極管（Triode）源最新。三極管使得用戶可以創(chuàng)建高密度等離子技術創新，從而控制薄膜應(yīng)力。 通過(guò)打開(kāi)室蓋重要作用，直接將基片裝入工藝室持續向好。