T-6000L/G
全自動高精度多功能貼裝系統(tǒng)
T-6000L/G設備主體采用大理石框架結構狀況，在保證高精度的同時也增強了設備抗干擾能力兩個角度入手；410 X 400 mm大尺寸工作臺支持自定義上下料和貼裝區(qū)域配置；設備X同期、Y軸使用線性馬達驅動設計生產效率，Z軸行程高達100mm，支持2”-8”晶元拾刃Ч?∈褂?； X/Y/Z采用精度為 0.1μm 的線性光柵編碼器， 使得它總體復合精度高達3μm@3sigma密度增加；貼片頭壓力范圍從10g到30000g閉環(huán)控制有效性、連續(xù)可調；芯片自動識別校準精度可達±0.1°機遇與挑戰、多工位吸頭自動識別更換廣泛關註。
該設備可支持：芯片篩選、芯片貼裝集成技術、點膠貼片就能壓製、蘸膠貼片、共晶貼片大部分、熱壓貼片強大的功能、芯片加熱、芯片刮擦解決方案、倒裝芯片鍵合優勢、超聲芯片鍵合、芯片UV在線固化增產、多芯片堆疊便利性、繼電器、傳感器行動力、電源模塊提供有力支撐、攝像頭、微波組件統籌、光通訊模塊最深厚的底氣、激光模塊、精密器件裝配振奮起來、COC品質、COB利用好、BOC、RFID解決問題、VCSEL系列、MEMS、MOEMS等微組裝工藝和產品領域相互配合。
特色功能及可選配置：
- Wafer table up to 8”晶元臺支持8寸晶元 - Waffle/Gel-pack holder 華夫盒慢體驗、凝膠盒上料
- Wafer changer 晶元更換 - Wafer mapping 晶元地圖
- Automatic tool change 自動吸頭更換 - Look-up camera 上視攝像頭
- Heating plates 加熱臺（動態(tài)脈沖、靜態(tài)恒溫） - Inner gas protection 惰性氣體保護倉
- TO heater TO加熱模塊 - Tool heating 吸嘴加熱
- Pedestal for high accuracy applications 中繼臺 - Customized work holder 定制工作夾具
- Dispenser 點膠模塊 - T/P Dispenser 時間壓力點膠模塊
- Auger Dispenser 螺桿點膠模塊 - PDM Dispenser (1 nl) PDM點膠模塊
- Stamping Unit 蘸膠模塊 - Flux dipping unit 蘸助焊劑模塊
- Die flipping unit 芯片翻轉模塊 - Scrub 刮擦功能
- UV curing station UV固化模塊 - UV-Indexer UV移動軌道
- Bulk Parts Feeder 散件送料器 - 5x Feeder Bank 5工位卷帶送料器(支持8 和 12mm送料器)
- Conveyor 軌道傳送帶 - Magazine lifter 料盒上下料機構
- Traceability 生產數據追溯 - SECS/GEM 通訊模塊
- OCR 光學圖像識別 - Bar-code reading 條碼智能化、二維碼識別
- U/S Module (100 W) 超聲鍵合模塊（100瓦） - WRGB ring light 三色光源
- Post-Bond Inspection 貼片后檢查 - Auto light Setting 自動燈光設置