FC-3800和FC-4400是適用于潔凈室的、真空鎖結(jié)構(gòu)的系統(tǒng)趨勢,專門面向lift-off工藝的大生產(chǎn)應(yīng)用有力扭轉。這些鍍膜機(jī)為連續(xù)高效的運(yùn)行而設(shè)計,并提供高均勻性的薄膜沉積一站式服務。FC-3800的源基間距為34”(965mm)廣度和深度,而FC-4400的源基間距為42”(1067mm)。這兩款系統(tǒng)都可配置成獨(dú)立機(jī)臺或穿墻式潔凈室安裝管理,也都支持鍍膜源顯示、材料進(jìn)給、加熱效率和安、清洗等附件的各種組合設計能力。